Установка отмывки и сушки пластин SV-702-M1

  • Подходит для кремниевых, сапфировых, стеклянных и других пластин, диаметром до 150 мм;
  • Загрузка: 1 кассета с пластинами до 150 мм, 4 кассеты с пластинами до 50 мм;
  • Время отмывки и сушки: до 9 999 с;
  • Скорость вращения ротора-держателя: до 2 800 об/мин;
  • Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном;
  • Производительность: от 300 пластин в час.

Двухкамерная установка отмывки и сушки пластин SV-702-M2

  • Подходит для пластин, диаметром до 150 мм;
  • Загрузка: 1 кассета с пластинами до 150 мм, 4 кассеты с пластинами до 50 мм;
  • Время отмывки и сушки: до 9 999 с;
  • Скорость вращения ротора-держателя: до 2 800 об/мин;
  • Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном;
  • Производительность: от 300 пластин в час.

Настольная установка отмывки и сушки пластин SV-702-MB

  • Подходит для пластин, диаметром до 150 мм;
  • Загрузка: 1 кассета с пластинами до 150 мм, 4 кассеты с пластинами до 50 мм;
  • Время отмывки и сушки: до 9 999 с;
  • Скорость вращения ротора-держателя: до 2 800 об/мин;
  • Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном;
  • Производительность: от 300 пластин в час.

Высокопроизводительная установка отмывки и сушки пластин SH-801

  • Подходит для пластин диаметром до 150 мм;
  • Загрузка: 6 кассет с пластинами от 50 до 100 мм, 4 кассеты с пластинами до 150 мм;
  • Максимальная скорость вращения ротора-держателя 1 500 об/мин;
  • Время отмывки и сушки настраивается;
  • Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном;
  • Производительность: от 600 до 900 пластин в час.

Простые и компактные установки для групповой отмывки и сушки пластин методом центрифугирования после жидкостной химической обработки. Подходят для кремниевых, сапфировых, стеклянных и других пластин, диаметром до 300 мм. Кассета с пластинами загружается в камеру из нержавеющей стали и удерживается там с помощью специального ротора-держателя. Предварительная отмывка пластин в деионизованной воде контролируется с помощью датчика удельного сопротивления. Сушка вращением происходит при одновременной подаче нагретого азота. Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном. В линейке установок отмывки и сушки пластин представлены модели с вертикальной и фронтальной загрузкой пластин. Установки с фронтальной загрузкой, в свою очередь, поставляются в трёх вариантах исполнения: настольный, напольный, напольный с двумя камерами.