Настольная система безмасковой литографии PALET DDB-701

Система безмасковой литографии PALET DDB-701 — это компактная настольная система для проведения процесса фотолитографии при создании топологического рисунка в слое фоторезиста без использования фотошаблонов, с разрешающей способностью до 3 мкм. Система может оснащаться как ручным, так и моторизованным предметным столиком для более точного совмещения последующих слоёв. Идеальное решение для лабораторных исследований и НИОКР.

Применение:
Формирование топологического рисунка на подложках с резистивным покрытием при производстве:

  • гибридных, плёночных и полупроводниковых интегральных схем;
  • микроэлектромеханических систем (МЭМС);
  • устройств фотовольтаики.

Описание

Настольная система безмасковой литографии PALET позволяет быстро и легко проводить процесс литографии и превращать Ваши разработки в реальные устройства. Компактный размер системы, разумная стоимость и простота управления делают данную систему оптимальным выбором для тех, кто хочет воплотить свои идеи в реальной продукции, ведь разработка и тестирование новых устройств — это путь проб и ошибок.

Главной концепцией системы фотолитографии PALET является простота её эксплуатации. Системы выполнена в виде компактного настольного блока, к которому подключается ПК и контроллер предметного столика. Всё, что нужно для нормального функционирования системы фотолитографии — это обычная однофазная розетка, небольшая "жёлтая комната" и немного места на столе.

Пример расположения системы PALET на рабочем столе

Габаритные размеры системы PALET (в миллиметрах)

Большинство Заказчиков привыкли к тому, что системы безмасковой литографии довольно компактны, но весьма недёшевы. Система PALET разрушает сложившийся стереотип дороговизны. Приобретая PALET, Заказчик получает надёжное, недорогое устройство, которое позволяет решать очень широкий круг задач и одновременно с этим не требует обеспечения охлаждающими жидкостями и сжатыми газами. В самом бюджетном варианте система поставляется с ручным предметным столиком.

Система PALET DDB-701-MS с ручным столиком (перемещение по осям X, Y, Z и углу θ)

По мнению инженеров-разработчиков системы фотолитографии PALET, процесс должен быть предельно простым и не требовать много усилий от оператора. Система PALET разрабатывалась максимально дружественной по отношению к пользователю. Она очень проста в эксплуатации и позволяет быстро получать хорошие результаты даже пользователям, начинающим своё знакомство с фотолитографией.

Наносим на пластину фоторезист > Устанавливаем пластину на столик > Запускаем программу > Выбираем шаблон > Выставляем условия экспонирования > Запускаем процесс

Предметный столик

Для удобства позиционирования пластины на предметном столике можно установить либо несколько стопорных стержней, либо специализированные держатели для пластин нестандартного размера или формы. Максимальный диаметр пластин для системы PALET серии DDB-701 равен 60 мм, а толщина — 3 мм.

Варианты держателей для различных пластин и подложек

Совмещение и экспонирование

Моторизованная модель системы фотолитографии PALET позволяет проводить дополнительное экспонирование, зачастую необходимое при разработке полупроводниковых устройств. Управляющее программное обеспечение позволяет пользователю контролировать правильность совмещения в процессе дополнительного экспонирования.

Процесс совмещения шаблона с рисунком на подложке

Режим тиражирования

Результаты экспонирования зависят от целого ряда факторов: от фоторезиста (марка, производитель, номер партии, условия хранения, толщина нанесения), материала пластины, условий окружающей среды (температура, влажность), текущих настроек системы фотолитографии и т. п. Режим тиражирования (Repeat mode) позволяет подобрать оптимальные условия экспонирования путём создания массива одного и того же шаблона с изменением глубины фокуса в одном направлении и интенсивности освещения в другом.

Режим тиражирования (Repeat mode)

Режим заполнения пластины

Для рационального использования всей площади пластины у системы PALET предусмотрен режим наиболее полного заполнения экспонируемой площади (Canvas mode), который позволяет разместить несколько шаблонов и для каждого из них задать свои особые условия экспонирования. В результате данный режим позволяет экономить пластины, фоторезист и рабочее время оператора.

Режим заполнения пластины (Canvas mode)

Технические характеристики

Модель DDB-701-MS-10 DDB-701-MS-2 DDB-701-DL-10 DDB-701-DL-2
Источник света светодиод с длиной волны 365 нм (срок службы — 10 000 часов)
Объектив 10× 10×
Минимальная ширина воспроизводимой линии 3 мкм 15 мкм 3 мкм 15 мкм
Размер подложек диаметром до 60 мм, толщиной до 3 мм
Площадь, экспонируемая за один импульс 1 × 0,6 мм 5 × 3 мм 1 × 0,6 мм 5 × 3 мм
Длительность импульса
(для фоторезиста AZP-1350 толщиной 1 мкм)
1 с 15 с 1 с 15 с
Максимальный размер экспонируемой области 25 × 25 мм
Предметный столик ручной столик X-Y-Z-θ моторизованный столик X-Y-Z-θ
Формат входных данных JPEG, PNG, BITMAP, XPS, DXF
Электропитание 1-фаза 100–240 В, до 1,5 кВт
Габаритные размеры (Ш × Г × В) и вес 300 × 450 × 450 мм, 30 кг

Комплект поставки

В комплект поставки системы PALET DDB-701 входит:

  • базовый блок — 1 шт.;
  • персональный компьютер в составе: системный блок, монитор, клавиатура, мышь — 1 компл.;
  • программное обеспечение — 1 шт.

Примеры структур

Запрос предложения

Чтобы получить коммерческое предложение и купить установку безмасковой литографии PALET DDB-701,
отправьте заявку на наш электронный адрес info@sputnik-micro.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.