Установка проявления фоторезиста Yotec ASC-200D выполнена на базе настольной центрифуги ASC-200. Проявление фоторезиста происходит путем автоматической подачи проявителя под давлением из канистры на вращающуюся пластину. Установка позволяет обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Управление происходит с помощью программируемого логического контроллера с цветным сенсорным экраном, на котором отображается диаграмма процесса в реальном времени.
Производитель: Yotec Instruments Co.
Страна: ТАЙВАНЬ (КИТАЙ)
Особенности
- Высокоточный серводвигатель;
- Корпус центрифуги выполнен из нержавеющей стали;
- Камера выполнена из химически стойкого HDPE пластика;
- Большой выбор держателей для круглых и прямоугольных пластин размером до 300 мм;
- Программирование с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном;
- Встроенная память позволяет сохранять до 100 рецептов и до 100 шагов в каждом рецепте;
- На каждом шаге оператор может задавать скорость, ускорение, замедление и время вращения;
- Отображение диаграммы процесса в реальном времени;
- Датчики вакуума и откидной крышки.
Центрирующий инструмент для точного позиционирования пластины по центру вакуумного держателя
Подача проявителя, воды и воздуха в камеру осуществляется через гибкие трубки
Технические характеристики
| Модель | ASC-200D |
| Размер подложек | до 200 мм |
| Скорость вращения | 0–10 000 об/мин |
| Ускорение | 0–50 000 [об/мин]/с |
| Кол-во рецептов и шагов | 100 × 100 |
| Диаграмма процесса | + |
| Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 306 × 433 × 306 мм |
Комплект поставки
- Центрифуга — 1 шт.;
- Безмасляный вакуумный насос — 1 шт.;
- Вакуумный держатель пластин (размер согласовывается с Заказчиком) — 1 шт;
- Система для автоматической подачи проявителя в составе: ёмкость, регулятор давления, набор трубок, держатели — 1 компл.
Остались вопросы?
Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить установку проявления фоторезиста Yotec ASC-200D,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.