Установка четырёхзондового измерения ST2258C — простая и экономичная установка для измерения удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов и тонких проводящих плёнок четырёхзондовым методом (аналог установок типа ИУС-3).
Бренд: JG
Производитель: Jingge Electronics Co.
Страна: КИТАЙ
В НАЛИЧИИ
Описание
Установка ST2258C представляет собой измерительный прибор, предназначенный для измерения удельного и поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых материалов и тонких проводящих плёнок четырёхзондовым (четырёхконтактным) методом.
Прибор соответствует стандартам ASTM F 84-99, ASTM F 390-11, SEMI MF43, SEMI MF84, SEMI MF374.
Назначение
- Измерение удельного электрического сопротивления (УЭС) полупроводниковых и нанокомпозитных материалов в виде пластин, шайб, слитков, а также образцов неправильной формы.
- Измерение поверхностного электрического сопротивления (ПЭС) диффузионных, эпитаксиальных и ионно-имплантированных слоёв полупроводниковых структур.
- Измерение сопротивления металлизации субмикронных и нанометровых толщин на полупроводниковых и диэлектрических материалах.
- Арбитражные измерения и производственный контроль кремниевой продукции.
Измеритель
Измерительный блок установки выполнен в корпусе из прочного алюминия и имеет компактные размеры 24,5 см (Ш) × 22 см (Г) × 10,5 см (В). Управление происходит с помощью кнопок, расположенных на передней панели. Информация выводится на экране 5-разрядного цифрового индикатора.
Испытательный стенд
Стойка-держатель SZT-C предназначена для подведения зондовой головки к образцу и позволяет избежать наклона и дрожания зондов при контакте с поверхностью образца. Образец размещается на электроизолированном предметном столе, размером 195 × 170 мм. Для настройки положения зондовой головки по высоте и для создания необходимого усилия прижима зондов к образцу предусмотрена специальная регулировочная гайка. Для быстрого подведения/отведения зондовой головки предусмотрен специальный рычаг.
Стойка-держатель SZT-C совместима со всеми зондовыми головками компании JG.
Зондовая головка
Технические характеристики
| Измеритель | ||
| Модель | ST2258C | |
| Измеряемое сопротивление | 10,0 × 10-6 – 200,0 × 103 Ом | |
| Измеряемое удельное сопротивление | 10,0 × 10-6 – 200,0 × 103 Ом·см | |
| Измеряемое поверхностное сопротивление | 50,0 × 10-6 – 1,0 × 106 Ом/☐ | |
| Разрешение | 1,0 × 10-6 – 0,1 × 103 Ом | |
| Погрешность измерения | 0,5% (стандартные образцы) | |
| Электропитание | 220 В ±10%, 50 Гц, <20 Вт | |
| Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 245 × 220 × 105 мм | |
| Масса | 2,7 кг | |
| Зондовая головка | ||
| Модель | ST2558B-F01 | ST2253-F01 |
| Материал зондов | сплав медь-фосфор с золотым покрытием | карбид вольфрама |
| Диаметр зонда | 0,7 мм | 0,5 мм |
| Межзондовое расстояние | 2,0 мм | 1,0 мм |
| Давление зонда | 0–0,6 кг | 0–2 кг |
| Расположение зондов | линейное / по углам квадрата | линейное |
| Стойка-держатель | ||
| Модель | SZT-C | |
| Размер предметного стола | 195 × 170 мм | |
| Максимальная высота образца | 25 мм | |
| Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 170 × 250 × 235 мм | |
| Масса | 1,5 кг | |
Остались вопросы?
Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить установку четырёхзондового измерения JG ST2258C,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.