Система отмывки и сушки пластин SV-702-M2 — двухкамерная установка для групповой отмывки и сушки пластин в кассетах после жидкостной химической обработки. Установка имеет две независимые камеры для обработки кремниевых, сапфировых, стеклянных и других пластин и подложек, круглой и прямоугольной формы, размером до 150 мм.
Модификации:
M2 — с двумя камерами / M1 — с одной камерой / MB — настольная, с одной камерой
Производитель: Advanced Spin System Inc.
Страна: ТАЙВАНЬ (КИТАЙ)
Технические характеристики
| Модель | SV-702-M2 |
| Количество камер | 2 |
| Размер обрабатываемых пластин | 50, 76, 100, 150 мм |
| Загрузка | 2 кассеты (пластины 76–150 мм) или 8 кассет (пластины 50 мм) |
| Скорость вращения ротора-держателя | до 2 800 об/мин (без загрузки) |
| Настройка времени процесса | 0–9 999 с |
| Управление | ПЛК с цветным сенсорным экраном |
| Кол-во рецептов и шагов | 20×10 |
| Контроль качества отмывки (измерение удельного сопротивления воды) | + |
| Антистатический модуль (ионизатор воздуха) | + |
| Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 500 × 755 × 1 754 мм |
Остались вопросы?
Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить двухкамерную установку отмывки и сушки пластин ASSI SV-702-M2,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.