Система отмывки и сушки пластин SV-702-M1 — однокамерная установка для групповой отмывки и сушки полупроводниковых пластин после жидкостной химической обработки. Установка подходит для различных пластин и подложек, круглой и прямоугольной формы, размером до 150 мм. Применяется при производстве светодиодов, интегральных схем, МЭМС, устройств фотовольтаики.
Модификации:
M1 — с одной камерой / M2 — с двумя камерами / MB — настольная, с одной камерой
Производитель: Advanced Spin System Inc.
Страна: ТАЙВАНЬ (КИТАЙ)
Описание
Система отмывки и сушки пластин модели SV-702-M1 от компании ASSI является отраслевым выбором из-за низкой стоимости и высокой надежности. Благодаря небольшому размеру и простоте использования система SV-702-M1 идеально подходит для R&D центров, лабораторий и мелкосерийных производств, где применяется ручная обработка пластин. Установка успешно применяется при производстве светодиодов, интегральных схем, микроэлектромеханических систем (МЭМС), устройств фотовольтаики.
В установке используется технологическая камера из электрополированной нержавеющей стали, которая поддерживает полный цикл отмывки вращением в деионизированной воде, за которым следует цикл сушки вращением с подачей горячего азота. Качество отмывки контролируется с помощью датчика удельного сопротивления. Сушка вращением происходит со скоростью до 2 800 об/мин при одновременной подаче азота, нагреваемого до 80 °C. Активный блок антистатики обеспечивает надёжное снятие статического электричества, что препятствует налипанию частиц пыли.
Технические характеристики
| Модель | SV-702-M1 |
| Количество камер | 1 |
| Размер обрабатываемых пластин | 50, 76, 100, 150 мм |
| Загрузка | 1 кассета (пластины 76–150 мм) или 4 кассеты (пластины 50 мм) |
| Скорость вращения ротора-держателя | до 2 800 об/мин (без загрузки) |
| Настройка времени процесса | 0–9 999 с |
| Управление | ПЛК с цветным сенсорным экраном |
| Кол-во рецептов и шагов | 20×10 |
| Контроль качества отмывки (измерение удельного сопротивления воды) | + |
| Антистатический модуль (ионизатор воздуха) | + |
| Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 500 × 724 × 1 510 мм |
Остались вопросы?
Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить установку отмывки и сушки пластин SV-702-M1,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.