В Ростове-на-Дону запущена установка измерения сопротивлений 4-зондовым методом

В Ростовском НИИ радиосвязи введена в эксплуатацию установка ВИК-УЭС для измерения сопротивлений четырехзондовым методом.

Установка позволяет в ручном режиме проводить измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и поверхностного сопротивления плёнок (аналог ИУС). Измерение УЭС происходит в интервале от 0,001 до 200 000 Ом·см. Установка оснащена манипулятором с измерительной 4-зондовой головкой Cascade C4S со следующими параметрами:

  • межзондовое расстояние: 1,6 мм;
  • давление зондов: 70–180 г;
  • радиус закругления наконечника зондов: 50 мкм;
  • материал зондов: карбид вольфрам.

В комплект поставки включен персональный компьютер с программным обеспечением, включающим статистическую обработку данных, расчет УЭС пластин с учетом всех рекомендованных международными стандартами факторов, включая сопротивление на квадрат эпитаксиальных слоев и построение карт распределения УЭС по поверхности образца.

Подробнее об установке ВИК-УЭС с ручным манипулятором по ссылке.