Термостолик YS-200S / YS-300S / YS-450S / YS-600S серия ПЛЮС

Термостолик предназначен для точного и безопасного нагрева и обеспечивает высокую однородность температуры по всей поверхности нагревательной плиты. Универсальный лабораторный термостолик имеет большой выбор опций и вариантов конфигураций, а также оснащается встроенными устройствами для защиты и безопасности пользователя.

Термостолик EMS 1000-1

Термический столик для сушки и задубливания фоторезиста обеспечивает высокую однородность температуры по всей поверхности нагревательной плиты. Термостолик подходит как для круглых, так и для прямоугольных пластин размером до 150 мм. Вакуумный прижим обеспечивает лучший контакт подложки с нагревательной плитой. Опционально термостолик оснащается подъёмными штырьками (lift-pins), которые опускают и поднимают пластину на нагревательную плиту, и откидной крышкой для напуска азота.

Термостолик с двумя плитами EMS Dual

Термический столик представляет собой конструкцию, состоящую из двух нагревательных плит, объединенных в одном корпусе. Данная конструкция позволяет оператору программировать каждую нагревательную плиту в отдельности и проводить два независимых друг от друга процесса на одной установке.

Термическая сушка фоторезиста проходит на разных стадиях: предварительная сушка, постэкспозиционная сушка (до проявления), задубливание (сушка после проявления). На каждой стадии подбирается определенная температура и время сушки, которые в значительной степени влияют на такие важные показатели фоторезиста, как время его экспонирования и точность передачи размеров элементов после проявления. Термостолики (hotplate) популярны благодаря простоте в использовании и точности поддержания температуры.