Термостолик для сушки фоторезиста EMS 1000-1

Термический столик для сушки и задубливания фоторезиста обеспечивает высокую однородность температуры по всей поверхности нагревательной плиты. Термостолик подходит как для круглых, так и для прямоугольных пластин размером до 150 мм. Вакуумный прижим обеспечивает лучший контакт подложки с нагревательной плитой. Опционально термостолик оснащается подъёмными штырьками (lift-pins), которые опускают и поднимают пластину на нагревательную плиту, и откидной крышкой для напуска азота.

Термостолик для сушки фоторезиста с двумя плитами EMS Dual

Термический столик представляет собой конструкцию, состоящую из двух нагревательных плит, объединенных в одном корпусе. Данная конструкция позволяет оператору программировать каждую нагревательную плиту в отдельности и проводить два независимых друг от друга процесса на одной установке.

Термическая сушка фоторезиста проходит на разных стадиях: предварительная сушка, постэкспозиционная сушка (до проявления), задубливание (сушка после проявления). На каждой стадии подбирается определенная температура и время сушки, которые в значительной степени влияют на такие важные показатели фоторезиста, как время его экспонирования и точность передачи размеров элементов после проявления. Термостолики (hotplate) популярны благодаря простоте в использовании и точности поддержания температуры.