ASSI SV-802 — система для групповой отмывки и сушки пластин диаметром 200 мм после жидкостной химической обработки.
Производитель: Advanced Spin System Inc.
Страна: ТАЙВАНЬ (КИТАЙ)
Технические характеристики
| Модель | SV-802 |
| Размер обрабатываемых пластин | 200 мм |
| Загрузка | 1 кассета |
| Скорость вращения ротора-держателя | до 2 800 об/мин |
| Настройка времени процесса | 0–9 999 с |
| Управление | ПЛК с цветным сенсорным экраном |
| Кол-во рецептов и шагов | 20×10 |
| Контроль качества отмывки (измерение удельного сопротивления воды) | + |
| Антистатический модуль (ионизатор воздуха) | + |
| Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 635 × 670 × 1 500 мм |
Остались вопросы?
Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить установку отмывки и сушки пластин 200 мм ASSI SV-802,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.