ASSI SV-300 — система для групповой отмывки и сушки пластин диаметром 300 мм после жидкостной химической обработки.
Производитель: Advanced Spin System Inc.
Страна: ТАЙВАНЬ (КИТАЙ)
Технические характеристики
Модель | SV-300 |
Размер обрабатываемых пластин | 300 мм |
Загрузка | 1 кассета |
Скорость вращения ротора-держателя | до 2 800 об/мин |
Настройка времени процесса | 0–9 999 с |
Управление | ПЛК с цветным сенсорным экраном |
Кол-во рецептов и шагов | 20×10 |
Контроль качества отмывки (измерение удельного сопротивления воды) | + |
Антистатический модуль (ионизатор воздуха) | + |
Габаритные размеры (Ш × Г × В) | 635 × 670 × 1 500 мм |
Остались вопросы?
Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить установку отмывки и сушки пластин 300 мм ASSI SV-300,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.