Центрифуга для нанесения фоторезиста Yotec ASC-100

Центрифуга (spin coater) Yotec ASC-100 — это высокоточная настольная установка для нанесения резистивных покрытий и тонких плёнок методом центрифугирования. Универсальная центрифуга позволяет наносить фоторезисты, полиимиды, лаки, органические вещества и жидкости на кремниевые пластины и керамические подложки, круглой и прямоугольной формы, размером до 150 мм. Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном, с возможностью сохранения до 10 рецептов и до 10 шагов в каждом рецепте. Центрифуга идеально подойдет для исследовательских лабораторий и предприятий с мелкосерийным производством.

Производитель: Yotec Instruments Co.
Страна: ТАЙВАНЬ (КИТАЙ)

ЗАПРОСИТЬ ЦЕНУ

• Ручная и автоматическая подача рабочего вещества;
• Корпус центрифуги выполнен из нержавеющей стали;
• Чаша выполнена из химически стойкого HDPE пластика;
• Доступно как настольное, так и встраиваемое исполнение;
• Бесщеточный DC двигатель — ASC-100 / серводвигатель — ASC-200 и ASC-300;
• Большой выбор держателей для круглых и прямоугольных пластин размером от 10 до 300 мм;
• Программирование с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном размером 4,3”;
• Встроенная память позволяет сохранять до 100 рецептов и до 100 шагов в каждом рецепте;
• На каждом шаге оператор может задавать скорость, ускорение, время вращения, а также замедление;
• Отображение диаграммы процесса в реальном времени;
• Датчики вакуума и откидной крышки.

Опции

• Инструменты для ручной подачи рабочего вещества;
• Перистальтический насос для автоматической дозированной подачи рабочего вещества;
• Вакуумные держатели (металлические или HDPE) для круглых пластин и прямоугольных подложек стандартных размеров;
• Вакуумные и механические держатели для образцов нестандартных размеров и форм;
• Центрирующий инструмент для точного позиционирования круглой пластины по центру вакуумного держателя;
• Система удаления образовавшегося валика фоторезиста с края круглой пластины;
• Система отмывки обратной стороны пластины.

Пример подключения перистальтического насоса к центрифуге для автоматической подачи фоторезиста

Модель	ASC-100
Размер образцов	до 150 мм
Максимальная скорость вращения	12 000 об/мин
Максимальное ускорение	30 000 [об/мин]/с
Кол-во рецептов и шагов	10 × 10
Материал	корпус — нержавеющая сталь, чаша — HDPE
Система удаления кромки с края пластины	–
Система отмывки обратной стороны пластины	–
Габаритные размеры (Ш × Г × В)	256 × 359 × 258 мм

Требования к подключению

• Электропитание: 200–240 В;
• Вакуум: 0,06–0,09 МПа, мин. 15 л/мин, 6/4 мм трубка;
• Дренажное отверстие: 16 мм.

Комплект поставки

• Центрифуга — 1 шт.;
• Безмасляный вакуумный насос — 1 шт.;
• Вакуумный держатель пластин (размер согласовывается с Заказчиком) — 1 шт.

Для того чтобы получить дополнительную информацию перед тем, как купить установку нанесения фоторезиста Yotec ASC-100 ,
свяжитесь с нами по электронной почте info@sputnik-micro.ru или по телефону +7 495 796-50-96.