Среди множества методов нанесения покрытий на плоские образцы, метод центрифугирования является наиболее распространенным. Плёнка, полученная данным методом, сплошная и имеет высокую однородность. Установки для нанесения покрытий (спин-коатеры) получили большую популярность благодаря простоте в использовании и возможности настраивать параметры процесса, такие как скорость вращения, время и ускорение. Спин-коатеры используются во многих областях, в том числе для формирования равномерного слоя фоторезиста на поверхности пластины.
Этот раздел сайта содержит информацию о поставляемых установках для нанесения покрытий методом центрифугирования и принадлежностях.
Установки нанесения покрытий центрифугированием
Центрифуга (спин-коатер) Yotec ASC-100
Размер пластин: до 150 мм
Скорость вращения: до 12 000 об/мин
Центрифуга (спин-коатер) Yotec ASC-200
Размер пластин: до 200 мм
Скорость вращения: до 10 000 об/мин
Центрифуга (спин-коатер) Yotec ASC-300
Размер пластин: до 300 мм
Скорость вращения: до 5 000 об/мин
