Центрифуга ASC-80

Бюджетная компактная установка для нанесения фоторезиста методом центрифугирования на кремниевые, керамические и другие пластины, диаметром до 100 мм. Подача рабочего вещества осуществляется вручную. Вращение пластин происходит со скоростью до 10 000 об/мин. Встроенная память позволяет сохранять до 5 рецептов и до 5 шагов в каждом рецепте. На каждом шаге оператор задает значения скорости, ускорения и времени вращения. Идеальное решение для научно-исследовательских лабораторий.

Центрифуга ASC-100 / ASC-200 / ASC-300

Высокоточная настольная установка для нанесения покрытий и тонких плёнок методом центрифугирования. Универсальная центрифуга позволяет наносить фоторезисты, полиимиды, лаки, органические вещества и жидкости на кремниевые, керамические и другие пластины, круглой и прямоугольной формы, размером до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм, в зависимости от модели. Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном, с возможностью сохранения до 100 рецептов и до 100 шагов в каждом рецепте. Центрифуга идеально подойдет для исследовательских лабораторий и предприятий с мелкосерийным производством.

Центрифуга SC-80R+S/M/L

Недорогая установка для нанесения покрытий центрифугированием. Представлена в трёх вариантах исполнения: S, M, L, основным различием которых является размер чаши. Встроенный бесшумный вакуумный насос обеспечивает надёжный прижим пластины к вакуумному держателю.

При производстве изделий микроэлектроники важным этапом является формирование равномерного слоя фоторезиста на поверхности пластины. Среди множества методов нанесения фоторезиста (аэрозольное распыление/пульверизация, окунание, полив, накатка), метод центрифугирования является наиболее распространенным. Слой фоторезиста, полученный данным методом, сплошной и имеет высокую однородность. Толщину пленки можно контролировать изменяя скорость вращения пластины. Центрифуги для нанесения покрытий (spin coaters) получили большую популярность благодаря простоте в использовании и возможности настраивать параметры процесса, такие как скорость вращения, время и ускорение.