Центрифуга EMS 6000

Простая и экономичная установка для нанесения фоторезиста методом центрифугирования на кремниевые, керамические и другие пластины, диаметром до 150 мм. Вращение пластин происходит со скоростью до 10 000 об/мин. Управление осуществляется с помощью ПЛК с цветным сенсорным экраном. Встроенная память позволяет сохранять до 60 рецептов и до 10 шагов в каждом рецепте. На каждом шаге оператор задает значения скорости, ускорения и времени вращения. Центрифуга поставляется как в отдельно стоящем исполнении — в корпусе из нержавеющей стали, так и во встраиваемом.

При производстве изделий микроэлектроники важным этапом является формирование равномерного слоя фоторезиста на поверхности пластины. Среди множества методов нанесения фоторезиста (распыление/пульверизация, электростатический метод, окунание, полив, накатка), метод центрифугирования является наиболее распространенным. Слой фоторезиста, полученный данным методом, сплошной и имеет высокую однородность по толщине. Центрифуги (spin coater или spinner) получили большую популярность благодаря простоте в использовании и возможности точно контролировать скорость и время вращения пластины.