Установок в России: 36

Ручная установка для измерения электросопротивления четырехзондовым методом ВИК-УЭС

ВИК-УЭС — это простая и экономичная установка для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и поверхностного сопротивления плёнок четырёхзондовым методом (аналог установки типа ИУС). Установка оснащена ручным манипулятором и позволяет проводить измерения на образцах практически любых размеров и форм (квадратные и прямоугольные подложки, круглые пластины и слитки). Ручной манипулятор может устанавливаться в специальную стойку-держатель во избежание наклона и дрожания зондов, для более точного позиционирования зондов на поверхности образца.

Применение:

  • измерение удельного электрического сопротивления (УЭС) и распределение этого параметра полупроводниковых и нанокомпозитных материалов при комнатной температуре в виде пластин и шайб, а также образцов неправильной формы;
  • измерение поверхностного электрического сопротивления (ПЭС) диффузионных, эпитаксиальных и ионно-имплантированных слоёв полупроводниковых структур (аналог установок типа ИУС);
  • арбитражные измерения и производственный контроль кремниевой продукции;
  • измерение сопротивления металлизации субмикронных и нанометровых толщин на полупроводниковых и диэлектрических материалах;
  • измерение однородности толщины слоя металлизации субмикронных и нанометровых толщин на полупроводниковых и диэлектрических материалах.

Описание

В установке заложены следующие концепции:

  • автоматизированный выбор диапазона измерений;
  • непосредственное измерение сопротивления (отношения измеряемого напряжения к проходящему через образец току), что позволяет существенно увеличить точность и воспроизводимость измерений;
  • автоматическая проверка работоспособности электронной части и установки в целом;
  • в разработанном комплекте прикладных программ автоматически учитываются все поправки к расчетным формулам УЭС в соответствии с требованиями международных стандартов и проводится оценка радиального распределения УЭС пластин монокристаллического кремния по методикам ГОСТ, ASTM и SEMI;
  • возможность статистической обработки результатов измерений и накопления данных.

Общий вид установки ВИК-УЭС с ручным манипулятор в комплекте с ПК

Измерительная зондовая головка

Установка оснащается измерительной зондовой головкой C4S. Головка обеспечивает до 50 000 точных и повторяемых измерений. В зависимости от задач головка конфигурируется по нескольким параметрам:

Межзондовое расстояние

  • 1 мм
  • 1,3 мм
  • 1,6 мм

Давление зондов

  • 70–180 г
  • 40–70 г

Радиус закругления наконечника

  • 18 мкм
  • 50 мкм
  • 127 мкм
  • 254 мкм

Материал зондов

  • Карбид вольфрама
  • Осмий

Измерительная зондовая головка C4S

Ручной манипулятор

Ручной манипулятор позволяет измерять образцы различных размеров практически в любом положении, а также обеспечивает сохранность зондовых наконечников от поломок при случайных горизонтальных перемещениях. Манипулятор имеет небольшие размеры: 10 см в длину и 6 см в диаметре. Манипулятор может устанавливаться в стойку-держатель, которая позволяет избежать наклона и дрожания зондов. На стойку нанесена координатная сетка, которая позволяет измерять образец в нескольких точках с последующим построением карт распределения УЭС и ПЭС по поверхности образца. Стойка-держатель позволяет измерять слитки высотой до 27 см.

Ручной манипулятор ВИК-УЭС установленный в стойку-держатель

Технические характеристики

Диапазон измеряемых значений удельного сопротивления УЭС 1 × 10-3 – 2 × 105 Ом·см
Диапазон измеряемых значений поверхностного сопротивления ПЭС 1 × 10-2 – 1 × 106 Ом/☐
Диапазон измеряемых значений сопротивления 1 × 10-3 – 1 × 105 Ом
Размер образцов без ограничений
Автоматическая установка пропускаемого через образец тока в двух направлениях в диапазоне 2,5 × 10-7 – 1 × 10-1 А
Нестабильность тока за время измерения не более ±0,05 %
Диапазон измерения разности потенциалов на зондах 1 × 10-3 – 1 × 10-1 В
Время измерения не более 3 с

Рекомендации по выбору параметров измерительной зондовой головки

Материал образца Межзондовое расстояние Давление зондов Радиус закругления наконечника зондов Материал зондов
Кремниевые пластины /
кремниевые слитки
1 мм
1,3 мм
1,6 мм
70–180 г 50 мкм Карбид вольфрама
Арсенид галлия /
фосфид галлия
18 мкм Карбид вольфрама
Полупроводники /
измерение поверхностного сопротивления
40–70 г 50 мкм
127 мкм
Карбид вольфрама
Осмий
Тонкие металлические пленки 127 мкм
254 мкм
Осмий

Комплект поставки

В комплект поставки установки ВИК-УЭС входит:

  • электронный измерительный блок — 1 шт.;
  • ручной манипулятор с зондовой измерительной головкой — 1 шт.;
  • стойка-держатель — 1 шт.;
  • персональный компьютер в составе: системный блок, монитор, клавиатура, мышь — 1 компл.;
  • программное обеспечение (на русском языке) — 1 шт.

Запрос предложения

Чтобы получить коммерческое предложение и купить прибор для измерения удельного и поверхностного сопротивления ВИК-УЭС,
отправьте заявку на наш электронный адрес info@sputnik-micro.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.