Установок в России: 6

ВИК-УЭС А — это автоматизированная установка для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и поверхностного сопротивления плёнок четырёхзондовым методом. Установка позволяет в автоматизированном режиме проводить измерения на образцах диаметром до 300 мм и толщиной до 30 мм и строить карты распределения УЭС, ПЭС и толщины металлического слоя по поверхности образца. Установка оснащается выносной измерительной зондовой головкой, что позволяет проводить измерения также в ручном режиме.

Цена: ПО ЗАПРОСУ

Применение:

  • измерение удельного электрического сопротивления (УЭС) и распределение этого параметра полупроводниковых и нанокомпозитных материалов при комнатной температуре в виде пластин и шайб, а также образцов неправильной формы;
  • измерение поверхностного электрического сопротивления (ПЭС) диффузионных, эпитаксиальных и ионно-имплантированных слоёв полупроводниковых структур (аналог установок типа ИУС);
  • арбитражные измерения и производственный контроль кремниевой продукции;
  • измерение сопротивления металлизации субмикронных и нанометровых толщин на полупроводниковых и диэлектрических материалах;
  • измерение однородности толщины слоя металлизации субмикронных и нанометровых толщин на полупроводниковых и диэлектрических материалах;
  • измерение распределения легирующей примеси по глубине полупроводниковых структур в сочетании с послойным стравливанием;
  • измерение сопротивления растекания (при комплектации однозондовым манипулятором).

Особенности

  • автоматизированный выбор диапазона измерений;
  • непосредственное измерение сопротивления (отношения измеряемого напряжения к проходящему через образец току), что позволяет существенно увеличить точность и воспроизводимость измерений;
  • автоматическая проверка работоспособности электронной части и установки в целом;
  • в разработанном комплекте прикладных программ автоматически учитываются все поправки к расчетным формулам УЭС в соответствии с требованиями международных стандартов и проводится оценка радиального распределения УЭС пластин монокристаллического кремния по методикам ГОСТ, ASTM и SEMI;
  • возможность статистической обработки результатов измерений и накопления данных.

Возможности прикладного ПО — построение 3D карт

При измерении в автоматизированном варианте установки происходит построение трёхмерных карт распределения удельного сопротивления, поверхностного сопротивления и толщины металлического слоя по поверхности пластины.

Пример карт распределения удельного электросопротивления и их сечений

Технические характеристики

Диапазон измеряемых значений сопротивления базовый вариант 1 × 10-3 – 1 × 105 Ом
модификация до 2 × 105 и 5 × 105 Ом с соответствующим сдвигом нижнего диапазона
Диапазон измеряемых значений удельного сопротивления УЭС 1 × 10-3 – 1 × 105 (2 × 105 и 5 × 105) Ом·см
Диапазон измеряемых значений поверхностного сопротивления ПЭС 1 × 10-2 – 1 × 106 Ом/☐
Автоматическая установка пропускаемого через образец тока в двух направлениях в диапазоне 2 × 10-7 – 1 × 10-1 А
Нестабильность тока за время измерения не более ±0,05 %
Погрешность измерения сопротивления эквивалентов не более ±0,3 %
Размер образцов в автоматизированном режиме диаметром до 300 мм, толщиной до 30 мм
Точность позиционирования головки манипулятора ±0,1 мм
Размер образцов в ручном режиме без ограничений
Время измерения не более 3 с

Комплект поставки

В комплект поставки установки ВИК-УЭС А входит:

  • электронный измерительный блок с автоматизированным манипулятором — 1 шт.;
  • персональный компьютер в составе: системный блок, монитор, клавиатура, мышь — 1 компл.;
  • программное обеспечение (на русском языке) — 1 шт.

Запрос предложения

Чтобы получить коммерческое предложение и купить прибор для измерения удельного и поверхностного сопротивления ВИК-УЭС А,
отправьте заявку на наш электронный адрес info@sputnik-micro.ru или напишите нам через форму обратной связи в разделе Контакты.