Ручная установка для измерения четырехзондовым методом ВИК-УЭС

Простая и экономичная установка для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и поверхностного сопротивления плёнок четырёхзондовым методом (аналог установки типа ИУС). Установка оснащена ручным манипулятором, который позволяет проводить измерения на образцах практически любых размеров и форм (квадратные и прямоугольные подложки, круглые пластины и слитки). Ручной манипулятор может устанавливаться в специальную стойку-держатель во избежание наклона и дрожания зондов, для более точного позиционирования зондов на поверхности образца.

Автоматизированная установка для измерения четырехзондовым методом ВИК-УЭС А

Автоматизированная установка для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и поверхностного сопротивления плёнок четырёхзондовым методом. Установка позволяет в автоматизированном режиме проводить измерения на образцах диаметром до 300 мм и толщиной до 30 мм и строить карты распределения УЭС, ПЭС и толщины металлического слоя по поверхности образца. Установка оснащается выносной измерительной зондовой головкой, что позволяет проводить измерения также в ручном режиме.

Наиболее важными характеристиками полупроводниковых материалов, определяющими их область применения, качество и стоимость, являются их электрическое сопротивление — удельное (УЭС) и поверхностное (ПЭС). Среди множества контактных методов измерения величины удельного электросопротивления, наиболее широкое применение нашел четырёхзондовый метод (four point probe). Данный метод позволяет измерять удельное сопротивление объёмных образцов произвольной формы, имеющих хотя бы одну плоскую поверхность, и поверхностное сопротивление тонких плоских плёнок.

Наш модельный ряд приборов для измерения удельного объёмного и поверхностного сопротивления четырёхзондовым методом представлен в виде компактных настольных установок российского производства ВИК-УЭС с ручным и автоматизированным манипулятором. Измерения проводятся по методикам стандартов ГОСТ, ASTM и SEMI. Измерители удельного сопротивления ВИК-УЭС дешевле своих зарубежных аналогов и уже установлены во многих ведущих университетах и предприятиях страны.